[发明专利]一种太阳能电池用蒸镀靶材及其制备方法

摘要

本发明公开一种太阳能电池用蒸镀靶材及其制备方法，所述蒸镀靶材包括以下质量分数的组分：氧化铟(In2O3)98.5‑99.5%，掺杂氧化物0.5‑1.5%，所述掺杂氧化物为氧化铈、氧化钨、氧化钼、氧化钬、氧化钇、氧化锆、氧化镓中的2‑4种。本方案的蒸镀靶材采用独特的化学组成，通过向氧化铟基体中引入掺杂氧化物，通过二元甚至多元的共掺杂可以在产生较高载流电子浓度的同时，载流电子迁移率得到显著提升，采用该蒸镀靶材所沉积的薄膜具有高的近红外透过率和高电子迁移率。