[发明专利]一种太阳能电池用蒸镀靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池用蒸镀靶材的制备方法，其特征在于：所述蒸镀靶材包括以下质量分数的组分：氧化铟98.5-99.5%，掺杂氧化物0.5-1.5%，所述掺杂氧化物为氧化铈、氧化钨、氧化钼、氧化钬、氧化钇、氧化锆、氧化镓中的2-4种；

所述蒸镀靶材的制备方法具体步骤如下：

步骤一、将主体氧化物、掺杂氧化物、分散剂和去离子水按照一定比例混合并进行一次球磨混合，当一次球磨混合浆料的D50＜0.5μm时结束球磨；将所述一次球磨混合浆料烘干并破碎，然后过60-80目筛后，放置于烧结炉内进行一次煅烧处理，同时通入氧气；而后收集煅烧粉体待用；

步骤二、将所述煅烧粉体、粘结剂、分散剂和去离子水按照一定比例混合并进行二次球磨混合，首先分批次加入分散剂进行4h以上的研磨，而后分批次加入粘结剂，并继续砂磨30min以上，得到浆料；

步骤三、将步骤二所得浆料通过造粒方式制得实心球形颗粒，而后过筛并将所得颗粒待用；

步骤四、将步骤三所得颗粒填充于模具中，在成型压力30MPa条件下压制成型，得到蒸镀靶材素坯；

步骤五、将步骤四所得蒸镀靶材素坯放置于烧结炉中烧结，烧结程序结束自然冷却至室温，可制得蒸镀靶材；

所述步骤五中，具体烧结步骤如下：

第一温度区间：室温-750℃，升温速率1℃/min，空气流量控制在10-15L/min；

第二温度区间：750-1450℃，升温速率2℃/min，混合气流量控制在10-15L/min；

第三温度区间：1450-1400℃，降温速率2℃/min，混合气流量控制在10-15L/min；

第四温度区间：1400℃，保温6h，混合气流量控制在10-15L/min；

第五温度区间：1400-800℃，降温速率3℃/min，混合气流量控制在10-15L/min；

第六温度区间：800-100℃，降温速率1℃/min，空气流量控制在10-15L/min，程序结束自然冷却至室温，可制得蒸镀靶材；

混合气由氮气和氢气组成，其中氢气体积占比3-5%。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用蒸镀靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤三中，将步骤二所得浆料通过造粒方式制得实心球形颗粒，而后过80目筛所得颗粒待用，造粒过程其比表面积控制在5.0-6.0m²/g。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用蒸镀靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法中，一次球磨过程中所述分散剂为聚丙烯酸铵，所述分散剂质量与氧化物总质量之比为0.3-0.9%。

4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用蒸镀靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法中，煅烧粉二次球磨过程中所述分散剂为聚丙烯酸铵，所述分散剂质量与氧化物总质量之比为0.3-0.9%；所述粘结剂为聚乙烯醇，所述粘结剂质量与氧化物总质量之比为1~3%。

5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池用蒸镀靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤二中，首先分批次加入分散剂进行4h以上的研磨，当混合浆料的D50＜0.8μm后，再分批次加入粘结剂。