[发明专利]微型发光芯片阵列结构及其制备方法、掩膜版在审
| 申请号： | 202211556206.3 | 申请日： | 2022-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN115719784A | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 吴涛 | 申请（专利权）人： | 深圳市思坦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L27/15;G03F1/38 |
| 代理公司： | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人： | 袁文英 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种微型发光芯片阵列结构及其制备方法、掩膜版，其中微型发光芯片阵列结构制备方法包括如下步骤：提供基片，基片包括多个微型发光芯片；于基片的表面设置保护层；对基片进行刻蚀得到至少一条切割道，至少一条切割道将多个微型发光芯片分隔为多组微型发光芯片阵列；沿切割道切割基片，得到多个微型发光芯片阵列结构。本发明实施例能够提高微型发光芯片阵列结构的性能和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 发光 芯片 阵列 结构 及其 制备 方法 掩膜版 | ||
【主权项】：
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