[发明专利]一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置在审
| 申请号： | 202211544991.0 | 申请日： | 2022-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN116043171A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 陈景升 | 申请（专利权）人： | 江苏微迈思半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54;C23C14/14 |
| 代理公司： | 徐州新知科服知识产权代理有限公司 32634 | 代理人： | 陈辉 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市经济技术开发区杨*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，包括装置底座，装置底座的前侧设置有控制柜，控制柜的顶部设置有操作台，装置底座的顶部设置有高频加热仓，高频加热仓包括其外部的可拆真空防护罩，高频加热仓还包括其内部前侧的转动支撑盘，转动支撑盘上部放置有钨坩埚，转动支撑盘的后侧设置有高频加热器，高频加热器包括高频加热环，高频加热环上连接通线支撑管，通线支撑管的后侧连接电发生装置，高频加热器还包括其后侧用于控制其升降的往复装置，转动支撑盘的左右两侧分别设置有升降夹具，升降夹具用于夹持钨坩埚并控制升降。本申请克服现有技术缺点，升降加热加温更均匀，适应不同尺寸的钨坩埚加热，夹持后拿取更方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 镀银 坩埚 高频 加热 装置 | ||
【主权项】：
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