[发明专利]一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置

权利要求书

1.一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：包括装置底座(1)，所述装置底座(1)的前侧设置有控制柜(2)，所述控制柜(2)的顶部设置有操作台(3)，所述装置底座(1)的顶部设置有高频加热仓，所述高频加热仓包括其外部的可拆真空防护罩(4)，所述高频加热仓还包括其内部前侧的转动支撑盘(5)，所述转动支撑盘(5)上部放置有钨坩埚(6)，所述转动支撑盘(5)的后侧设置有高频加热器(7)，所述高频加热器(7)包括高频加热环(8)，所述高频加热环(8)上连接通线支撑管(9)，所述通线支撑管(9)的后侧连接电发生装置(10)，所述高频加热器(7)还包括其后侧用于控制其升降的往复装置，所述转动支撑盘(5)的左右两侧分别设置有升降夹具(11)，所述升降夹具(11)用于夹持所述钨坩埚(6)并控制升降。

2.根据权利要求1所述的蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：所述往复装置包括往复气缸(12)，所述往复气缸(12)的活塞杆端连接第一升降推板(13)，所述第一升降推板(13)连接所述电发生装置(10)的上端。

3.根据权利要求2所述的蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：所述装置底座(1)的顶部后侧设置有支撑架(23)，所述支撑架(23)的前侧固定所述往复气缸(12)。

4.根据权利要求3所述的蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：所述转动支撑盘(5)的中轴线和高频加热环(8)的中轴线一致，所述高频加热环(8)的直径大于所述钨坩埚(6)的最大外径。

5.根据权利要求1所述的蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：所述升降夹具(11)包括夹持气缸(14)，所述夹持气缸(14)的活塞杆水平设置且活塞杆端连接夹紧卡板(15)，两个所述夹紧卡板(15)相对侧的两端分别设置有三角夹件(16)，所述夹持气缸(14)的上方设置有升降气缸(17)，所述升降气缸(17)的活塞杆竖直设置且活塞杆端连接第二升降推板(18)，所述第二升降推板(18)固定在所述夹持气缸(14)的顶部。

6.根据权利要求5所述的蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：所述升降气缸(17)上一侧固定设置有同步定位板(19)，所述升降气缸(17)的前后两侧分别设置有调节立柱(20)，所述调节立柱(20)的下端固定在所述装置底座(1)的上表面，所述调节立柱(20)上分别套接有调节滑套(21)，所述调节滑套(21)上设置有紧固螺钉(22)，所述同步定位板(19)的两端分别固定在两侧的调节滑套(21)上。

7.根据权利要求1所述的蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，其特征在于：所述装置底座(1)内部的前侧设置有转动电机，所述转动电机的输出端连接减速器，减速器的输出端连接所述转动支撑盘(5)的中心轴。