[发明专利]P型TOPCON背结太阳能电池的制备方法及电池在审
| 申请号： | 202211513569.9 | 申请日： | 2022-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN116093197A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 沈健;赵福祥;金永旭 | 申请（专利权）人： | 韩华新能源（启东）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/068 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 樊晓娜 |
| 地址： | 226200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种P型TOPCON背结太阳能电池的制备方法，包括：(1)对P型硅片进行预处理；(2)在硅片正面生长掩膜层；(3)在硅片背面进行碱抛光；(4)在硅片正面和背面均沉积隧穿氧化层和本征多晶硅层，再对硅片背面磷掺杂得到磷掺杂多晶硅层；(5)去除硅片正面绕扩的磷硅玻璃层、本征多晶硅层、隧穿氧化层、掩膜层及硅片背面磷硅玻璃层；(6)对硅片进行退火，在硅片背面形成氧化层；(7)对硅片正面沉积第一膜层；(8)对硅片背面沉积第二膜层；(9)在硅片正面、背面分别制备电极，再经过光注入处理得到P型Topcon电池。由本发明提供的方法制备得到的电池的转换效率高，方法流程简单，设备投资少，适用于大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | topcon 太阳能电池 制备 方法 电池 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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