[发明专利]高通量成分梯度反铁电基薄膜材料及其制备方法在审
| 申请号： | 202211486004.6 | 申请日： | 2022-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN115747726A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 钟高阔;曾令平;陈骞鑫;邹娟;任传来 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;H01G4/12;C23C14/04;C23C14/08;C23C14/54;C23C14/02 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胥巧莉 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种高通量成分梯度反铁电基薄膜材料及其制备方法，所述高通量成分梯度反铁电基薄膜材料的制备方法包括以下步骤：获取衬底；在所述衬底上沉积形成底电极层；通过移动掩膜版，在所述底电极层上沉积不同比例的锆酸铅和掺杂组分，得到高通量成分梯度反铁电基薄膜材料，其中，所述掺杂组分包含钡元素。本申请解决了现有技术测试不同钡离子掺杂比例与反铁电基薄膜材料性能之间的关系的准确性较低的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 通量 成分 梯度 反铁电基 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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