[发明专利]加工装置和被加工物的判定方法在审
| 申请号： | 202211480898.8 | 申请日： | 2022-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN116197803A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 荒木浩二;田中贵光 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B24B41/06;B24B49/12;H01L21/687;H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;杨俊波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供加工装置和被加工物的判定方法，能够防止被加工物的误加工。该加工装置对被加工物进行加工，其中，该加工装置具有：卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；拍摄单元，其对保持面所保持的被加工物进行拍摄；加工单元，其对保持面所保持的被加工物进行加工；以及控制单元，控制单元根据利用拍摄单元拍摄被加工物的结果而判定被加工物上是否形成有构造物。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 判定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科，未经株式会社迪思科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211480898.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：菌落总数检测培养基药品及配制方法的改进
- 下一篇：显示面板和显示装置
