[发明专利]一种扫描电镜原位加热和电学测试装置及方法在审
| 申请号： | 202211477044.4 | 申请日： | 2022-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN115753862A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 彭金兰;周成刚;周典法;王秀霞;彭芳芳 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01N27/00;G01N31/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种扫描电镜原位加热和电学测试装置及方法，装置包括丁字样品台，原位加热和电学测试芯片，探针卡，导线，含BNC接口的真空法兰，信号源表，插针，固定螺柱；原位加热和电学测试芯片置于丁字样品上；探针卡按压接触原位加热和电学测试芯片上的加热电极和测试电极并引出导线同时固定原位加热和电学测试芯片；固定螺柱将探针卡固定在丁字样品台上；含BNC接口的真空法兰通过导线连接探针卡和信号源表。本发明提供扫描电镜原位加热、电学测试和微结构观察的功能，具备快速升降温、热飘移和电磁干扰低等优势，为微纳米材料性能测试提供平台，为透射电镜样品初步筛选提供实验平台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 原位 热和 电学 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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