[发明专利]一种扫描电镜原位加热和电学测试装置及方法

权利要求书

1.一种扫描电镜原位加热和电学测试装置，其特征在于：包括丁字样品台，原位加热和电学测试芯片，探针卡，导线，含BNC接口的真空法兰，信号源表和固定螺柱；原位加热和电学测试芯片置于丁字样品台上；探针卡按压接触原位加热和电学测试芯片上的加热电极和测试电极并引出导线；固定螺柱将探针卡固定在丁字样品台上；含BNC接口的真空法兰通过导线连接探针卡和信号源表。

2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜原位加热和电学测试装置，其特征在于：所述原位加热和电学测试芯片还包括硅片，氮化硅，氧化硅，观察窗和悬空区域，其中，所述硅片上的氮化硅是机械支撑层，加热电极和测试电极设置在机械支撑层上，加热电极和测试电极环绕形成原位加热和电学测试区，观察窗位于原位加热和电学测试区的中央，氧化硅作为钝化层设置于加热电极和测试电极上方，悬空区域贯穿于硅片与氮化硅中，悬空区域上方对应观察窗。

3.根据权利要求1所述的一种扫描电镜原位加热和电学测试装置，其特征在于：所述丁字样品台采用铝合金加工而成。

4.根据权利要求1所述的一种扫描电镜原位加热和电学测试装置，其特征在于：所述含BNC接口的真空法兰包含真空法兰和6个BNC接线端子。

5.根据权利要求1所述的一种扫描电镜原位加热和电学测试装置，其特征在于：所述信号源表提供并测试电压和电流，其设置控制程序控制信号输出和测试。

6.根据权利要求1-5之一所述的一种扫描电镜原位加热和电学测试装置的测试方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一，检查各部件完好，检查电路连接有无断路现象；

步骤二，通过毛刷转移或者分散方式将样品放到所述原位加热和电学测试芯片上，将原位加热与电学测试芯片放置并固定到丁字样品台上的芯片槽内；

步骤三，将探针卡放置并固定到丁字样品上对应的卡槽内，确定探针与原位加热与电学测试芯片上的加热电极和测试电极接触并导通；

步骤四，通过导线连接探针卡与含BNC接口的真空法兰上的BNC端口，连接BNC端口与信号源表的接线端口，通过控制程序施加0.1-2mA电流并测试电阻，确定整个测试回路导通；

步骤五，使得扫描电镜关闭腔门，抽真空；

步骤六，扫描电镜真空达到工作状态后，开始测试实验，通过控制程序对样品进行加热和电学特性测试，并通过扫描电镜观察样品的微观变化；

步骤七，完成测试后，打开扫描电镜的腔门，取出丁字样品台，恢复扫描电镜的腔室真空。