[发明专利]一种金属钪稀土靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202211462234.9 | 申请日： | 2022-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN115747731A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 张俊飞;蔡新志;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/16;C22B59/00;C22B9/00;B21J5/00;C22F1/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了金属钪稀土靶材的制备方法，属于靶材技术领域，包括以下步骤：将金属Sc块放入到悬浮熔炼设备中进行悬浮熔炼，Sc完全熔化后，继续精炼，精炼完成后，随炉冷却，取出，得到钪金属锭；将钪金属锭进行第一次热处理，再用空气锤对钪金属锭进行锻打；将钪金属锭进行第二次热处理，再对钪金属锭进行轧制，轧制完成后置于惰性气氛炉中随炉冷却，磨床加工，即得金属钪稀土靶材。本发明首先将Sc块进行悬浮熔炼，待Sc完全熔化后，继续精炼，保证内部组织成分均匀，而后随炉冷却，通过第一次热处理，锻打，保证金属锭变形量均匀，然后第二次热处理，轧制，得到了致密度高，内部无缺陷，总杂含量极低，晶粒细化的金属钪稀土靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 稀土 制备 方法 | ||
【主权项】：
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