[发明专利]一种金属钪稀土靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202211462234.9 | 申请日： | 2022-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN115747731A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 张俊飞;蔡新志;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/16;C22B59/00;C22B9/00;B21J5/00;C22F1/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属 稀土 制备 方法 | ||
1.一种金属钪稀土靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将金属Sc块放入到悬浮熔炼设备中进行悬浮熔炼，Sc完全熔化后，继续精炼，精炼完成后，随炉冷却，取出，得到钪金属锭；
(2)将钪金属锭进行第一次热处理，再用空气锤对钪金属锭进行锻打；
(3)将钪金属锭进行第二次热处理，再对钪金属锭进行轧制，轧制完成后置于惰性气氛炉中随炉冷却，磨床加工，即得金属钪稀土靶材。
2.根据权利要求1所述的金属钪稀土靶材的制备方法，其特征在于，所述金属Sc块的纯度为3N～4.5N。
3.根据权利要求1所述的金属钪稀土靶材的制备方法，其特征在于，所述悬浮熔炼的功率为200～250kw，熔炼温度为1550～1600℃。
4.根据权利要求1所述的金属钪稀土靶材的制备方法，其特征在于，所述精炼的温度为1550～1600℃，精炼时间为5～10min。
5.根据权利要求1所述的金属钪稀土靶材的制备方法，其特征在于，所述第一次热处理温度为500～650℃，时间为30～60min。
6.根据权利要求1所述的金属钪稀土靶材的制备方法，其特征在于，所述锻打变形量为20～40％。
7.根据权利要求1所述的金属钪稀土靶材的制备方法，其特征在于，所述第二次热处理温度为800～850℃，时间为30～60min。
8.根据权利要求1所述的金属钪稀土靶材的制备方法，其特征在于，所述轧制总变形量为50～60％，道次变形量为5～20％，道次保温时间5～10min。
9.根据权利要求1所述的金属钪稀土靶材的制备方法，其特征在于，所述轧制总变形量为60％，道次变形量为5％，道次保温时间5min。
10.根据权利要求1所述的金属钪稀土靶材的制备方法，其特征在于，所述金属钪稀土靶材的总杂低于170ppm，密度大于2.95g/cm3，晶粒尺寸为110～210μm。
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