[发明专利]溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线在审
| 申请号： | 202211430380.3 | 申请日： | 2022-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN116261389A | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 陈雪;虞洋;颜欢;孟相鹏 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | H10N30/078 | 分类号： | H10N30/078;H10N30/01;H01L21/67;H01L21/687;H01L21/673 |
| 代理公司： | 南宁东智知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 45117 | 代理人： | 裴康明 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线，涉及半导体材料制备，主要包括有传送组件、机械臂、机械爪、多层自动涂膜设备和退火炉设备，能够连续进行薄膜制备的溶胶旋涂和退火工作，大幅度提高生产线的自动化程度，并大大提高了制备压电薄膜的工作效率，且能够批量化制备压电薄膜，并能够实现压电薄膜在制备时进行反复的溶胶旋涂以及退火工作，以助于实现压电薄膜的自动化、批量化、连续化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 溶胶 凝胶 批量 制备 压电 薄膜 全自动 生产线 | ||
【主权项】：
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