[发明专利]溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线

权利要求书

1.一种溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线，其特征在于，包括有：

多层自动涂膜设备（4），其用于对硅片进行溶胶旋涂；

退火炉设备（10），其用于对溶胶旋涂好的硅片进行退火；

第一传送带（3）和第二传送带（12），所述第二传送带（12）的出料端与所述第一传送带（3）的进料端相连接，所述第一传送带（3）的出料端与所述退火炉设备（10）的进料端相连接，所述第二传送带（12）的进料端与所述退火炉设备（10）的出料端相连接；

料盘（2），其至少为一个，所述料盘（2）用于装载硅片，且所述料盘（2）能够在所述退火炉设备（10）、第一传送带（3）和第二传送带（12）上传送；

机械臂（6），其上设置有机械爪（5），所述机械臂（6）能够带动所述机械爪（5）并驱动所述机械爪（5）抓取通过所述第一传送带（3）传送的料盘（2）上的硅片并放置于所述多层自动涂膜设备（4）上以对硅片进行溶胶旋涂，并将溶胶旋涂好的硅片放回所述第一传送带（3）的料盘（2）上。

2.根据权利要求1所述的溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线，其特征在于：

所述第二传送带（12）在靠近出料端的位置处的一侧侧面处设置有出料台（16），相对的另一侧侧面处设置有气缸（13），所述气缸（13）的输出杆上设置有推杆（14），所述推杆（14）朝向所述出料台（16）；

所述料盘（2）上设置有标识码，所述第二传送带（12）在靠近出料端的位置处设置有扫码机（15）用于扫描并识别所述料盘（2）上的标识码，以当所述扫码机（15）记录到某个所述料盘（2）经过扫码机（15）一定次数时，能够通过所述气缸（13）驱动推杆（14）以将该料盘（2）推到所述出料台（16）。

3.根据权利要求1所述的溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线，其特征在于：

还包括有监测系统，所述监测系统包括有第一相机（19）、第二相机（11）和警报系统；

所述第一相机（19）设置于靠近所述退火炉设备（10）的进料端的位置处用于记录进入退火炉设备（10）的所述料盘（2）的时刻并对溶胶旋涂好的硅片进行拍照以采集数据，若经数据采集发现硅片上的薄膜不符合要求时则通过警报系统发出警报并停止生产线的运转；

所述第二相机（11）设置于靠近所述退火炉设备（10）的出料端的位置处用于记录从退火炉设备（10）出来的所述料盘（2）的时刻，以检测所述料盘（2）是否在规定的时间内通过所述退火炉设备（10），若在规定时间内第二相机（11）未能监测到料盘（2）从所述退火炉设备（10）中出来则通过警报系统发出警报并停止生产线的运转。

4.根据权利要求1所述的溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线，其特征在于：

所述第一传送带（3）在靠近进料端的位置处的一侧侧面处连接有进料传送带（1），所述料盘（2）能够通过所述进料传送带（1）传送到所述第一传送带（3）上。

5.根据权利要求1所述的溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线，其特征在于：

所述退火炉设备（10）包括有：

退火炉机架（104）；

炉壳组件（103），其安装于退火炉机架（104）上，所述炉管组件（103）包括有炉膛、炉管和加热丝，所述炉管位于所述炉膛内，所述加热丝嵌套在炉膛里；

传送组件（102），其安装于所述退火炉机架（104）上，所述传送组件（102）的进料端与第一传送带（3）的出料端相连接，所述传送组件（102）的出料端与第二传送带（12）的进料端相连接，传送组件（102）局部穿过所述炉管组件（103），用于传送所述料盘（2）及其上的硅片以使得硅片在所述炉管组件（103）内进行退火处理。