[发明专利]一种微焦点X射线源阴极结构及其制备方法

摘要

本发明提供了一种微焦点X射线源阴极结构及其制备方法，此方法形成的具有[100]晶向的二次区熔后的LaB6单晶，其电子发射稳定性好，在同样的电流密度下和钨丝相比，亮度更高、寿命更长；采用电化学腐蚀方法制备单晶LaB6尖端，其曲率半径为1μm左右，能产生高亮度的电子束，从而使得二次区熔后的LaB6单晶的发射性能远高于钨丝阴极的数十倍以上，其产生的X射线强度和成像质量都高于钨丝阴极；二次区熔后的LaB6单晶应用于Micro‑CT的X射线源上，不需要改变原有钨丝阴极电子枪结构和电源，就能打破热钨丝阴极因其发射电流小、亮度低、寿命短等缺点限制Micro‑CT系统性能，进而提升Micro‑CT的整体性能。