[发明专利]一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统在审
| 申请号： | 202211357815.6 | 申请日： | 2022-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN115773445A | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 许朋跃;文杰;贾静 | 申请（专利权）人： | 三英精控（天津）仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | F16M11/18 | 分类号： | F16M11/18;G01N21/01;F16C32/06 |
| 代理公司： | 天津市泰和博源知识产权代理事务所(普通合伙) 12258 | 代理人： | 杜朝阳 |
| 地址： | 301700 天津市武清区武*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，包括，底座，底座的上方通过压紧机构对称固定有两套Y轴气浮导轨；X轴气浮导轨，X轴气浮导轨的两端通过第一螺钉固定在Y轴气浮导轨的Y轴气浮套上，X轴气浮导轨的X轴气浮套上通过第二螺钉固定有二维纳米平台；龙门支座，龙门支座通过第一螺栓对称固定在底座的上方，龙门支座的上方通过第二螺栓固定有龙门横梁；Z轴升降平台和Z轴运动平台通过第三螺栓均固定在龙门横梁的前侧，Z轴运动平台的侧面通过直角转接件固定有三维纳米运动平台。提高扫描检测成像精度，同时实现大行程的运动；可胜任不同范围、不同速度、不同精度要求的多种扫描检测成像应用场景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 精密 光学 检测 成像 自由度 龙门 运动 系统 | ||
【主权项】：
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