[发明专利]一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统在审
| 申请号： | 202211357815.6 | 申请日： | 2022-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN115773445A | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 许朋跃;文杰;贾静 | 申请（专利权）人： | 三英精控（天津）仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | F16M11/18 | 分类号： | F16M11/18;G01N21/01;F16C32/06 |
| 代理公司： | 天津市泰和博源知识产权代理事务所(普通合伙) 12258 | 代理人： | 杜朝阳 |
| 地址： | 301700 天津市武清区武*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 精密 光学 检测 成像 自由度 龙门 运动 系统 | ||
1.一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，其特征是：包括，
底座(1)，所述底座(1)的上方通过压紧机构对称固定有两套Y轴气浮导轨(15)；
X轴气浮导轨(4)，所述X轴气浮导轨(4)的两端通过第一螺钉固定在所述Y轴气浮导轨(15)的Y轴气浮套上，所述X轴气浮导轨(4)的X轴气浮套上通过第二螺钉固定有二维纳米平台(12)；
龙门支座(2)，所述龙门支座(2)通过第一螺栓对称固定在所述底座(1)的上方，所述龙门支座(2)的上方通过第二螺栓固定有龙门横梁(3)；
Z轴升降平台(8)和Z轴运动平台(9)通过第三螺栓均固定在所述龙门横梁(3)的前侧，所述Z轴运动平台(9)的前侧通过直角转接件(13)固定有三维纳米运动平台(14)。
2.根据权利要求1所述的一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，其特征是：还包括左侧出线机构(7)和右侧出线机构(11)，所述左侧出线机构(7)和所述右侧出线机构(11)通过第四螺栓固定在所述龙门横梁(3)的前侧。
3.根据权利要求1所述的一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，其特征是：还包括拖链机构(10)，所述拖链机构(10)移动端固定在所述X轴气浮导轨(4)两端，所述拖链机构(10)固定端固定在所述底座(1)两侧。
4.根据权利要求1所述的一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，其特征是：还包括U型直线电机(5)，所述U型直线电机(5)定子对称固定在所述底座(1)两侧，所述U型直线电机(5)动子固定在所述X轴气浮导轨(4)两端。
5.根据权利要求1所述的一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，其特征是：所述Y轴气浮导轨(15)包括Y轴导轨条(15-1)和所述Y轴气浮套，所述Y轴导轨条(15-1)穿过所述Y轴气浮套，所述Y轴气浮套包括通过第三螺钉连接的Y轴气浮侧板一(15-2)、Y轴气浮侧板二(15-4)、Y轴气浮底板(15-3)和Y轴气浮连接板(15-5)。
6.根据权利要求1所述的一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，其特征是：所述X轴气浮导轨(4)包括X轴气浮导轨条(4-1)和所述X轴气浮套，所述X轴气浮导轨条(4-1)穿过所述X轴气浮套，所述X轴气浮套包括通过第四螺钉连接的X轴气浮侧板一(4-3)、X轴气浮侧板二(4-4)、X轴气浮底板(4-2)和X轴气浮连接板(4-5)。
7.根据权利要求1所述的一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，其特征是：所述压紧结构包括前压紧块(15-6)和后压紧块(15-8)，所述后压紧块(15-8)和所述前压紧块(15-6)通过第五螺钉安装在垫板(15-7)的上方。
8.根据权利要求1所述的一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，其特征是：所述龙门横梁(3)的顶部固连有罩盖(6)。
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