[发明专利]一种测试结构、芯片堆叠结构和测试方法在审
| 申请号: | 202211322883.9 | 申请日: | 2022-10-27 |
| 公开(公告)号: | CN115565593A | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
| 发明(设计)人: | 张家瑞 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号: | G11C29/08 | 分类号: | G11C29/08;G11C29/12 |
| 代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 贾伟;张颖玲 |
| 地址: | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本公开实施例提供了一种测试结构、芯片堆叠结构和测试方法,该测试结构应用于芯片堆叠结构,芯片堆叠结构包括多个芯片,至少两个芯片构成一个测试组,测试结构包括测试电路,每个测试组具有一个测试电路,测试组中的每个芯片包含部分测试电路,其中:测试电路,用于对测试组进行测试,若测试组中每个芯片包含的部分测试电路均被有效使能启动,则测试电路启动并输出标志信号,标志信号表征测试组不包含顶层芯片。这样,本公开实施例能够快速且准确地从多个芯片中确定出顶层芯片,从而为TSV的测试和修复提供依据。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 测试 结构 芯片 堆叠 方法 | ||
【主权项】:
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