[发明专利]一种测试结构、芯片堆叠结构和测试方法在审

专利信息
申请号: 202211322883.9 申请日: 2022-10-27
公开(公告)号: CN115565593A 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 张家瑞 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: G11C29/08 分类号: G11C29/08;G11C29/12
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 贾伟;张颖玲
地址: 230601 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 本公开实施例提供了一种测试结构、芯片堆叠结构和测试方法,该测试结构应用于芯片堆叠结构,芯片堆叠结构包括多个芯片,至少两个芯片构成一个测试组,测试结构包括测试电路,每个测试组具有一个测试电路,测试组中的每个芯片包含部分测试电路,其中:测试电路,用于对测试组进行测试,若测试组中每个芯片包含的部分测试电路均被有效使能启动,则测试电路启动并输出标志信号,标志信号表征测试组不包含顶层芯片。这样,本公开实施例能够快速且准确地从多个芯片中确定出顶层芯片,从而为TSV的测试和修复提供依据。
搜索关键词: 一种 测试 结构 芯片 堆叠 方法
【主权项】:
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