[发明专利]保护膜形成膜、保护膜形成用片、保护膜形成用复合片及装置的制造方法在审
| 申请号： | 202211262176.5 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN116239923A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 田中佑耶;山下茂之 | 申请（专利权）人： | 琳得科株式会社 |
| 主分类号： | C09D133/08 | 分类号： | C09D133/08;C09D163/00;C09D7/61;C09D7/62;H01L21/683;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种带保护膜的工件的分割性良好且能够抑制分割后的保护膜的外观不良的保护膜形成膜、具备该保护膜形成膜的保护膜形成用片及保护膜形成用复合片、以及半导体装置等装置的制造方法。所述保护膜形成膜为固化后成为保护膜的保护膜形成膜，其中，在23℃下，对固化后的保护膜形成膜实施直角撕裂试验时，直角撕裂强度为10N/mm以上，且在该直角撕裂试验中，固化后的保护膜形成膜断裂时的伸长率为10％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 保护膜 形成 复合 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D133-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是仅以1个羧基或其盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端；基于此种聚合物的衍生物的涂料
C09D133-02 .酸的均聚物或共聚物；其金属盐或铵盐
C09D133-04 .酯的均聚物或共聚物
C09D133-18 .腈的均聚物或共聚物
C09D133-24 .酰胺或酰亚胺的均聚物或共聚物
C09D133-26 ..丙烯酰胺或甲基丙烯酰胺的均聚物或共聚物
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