[发明专利]一种金属嵌入式微纳米薄膜热流传感器在审
| 申请号： | 202211247695.4 | 申请日： | 2022-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN115512875A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 冯科;张芝民;杨玉;漆锐;陈南菲;段青松;邓惠丹;谭庆 | 申请（专利权）人： | 中冶赛迪工程技术股份有限公司;中冶赛迪技术研究中心有限公司 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01B13/00;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 杨柳岸 |
| 地址： | 400013*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金属嵌入式微纳米薄膜热流传感器，属于传感器技术领域。传感器包括保护层I、保护层II、导电种子层I、导电种子层II、粘结层I、粘结层II、绝缘层I、绝缘层II、传感层和环氧树脂。制作方法为：通过电镀、旋涂、光刻、磁控溅射、电子束蒸发、低压化学气相沉积、等离子增强化学气相沉积等工艺步骤逐层沉积粘结层、绝缘层、传感层、阻挡层、种子层和保护层。本发明能有效保障传感器在恶劣工业环境中的使用效果，并有助于大幅提升其使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 嵌入 式微 纳米 薄膜 热流 传感器 | ||
【主权项】：
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