[发明专利]基于超声共振驱动的可变形反射镜在审
| 申请号： | 202211237119.1 | 申请日： | 2022-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN115480358A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 刘言军;周雷清 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G02B7/185 | 分类号： | G02B7/185;G02B26/06;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京易捷胜知识产权代理有限公司 11613 | 代理人： | 齐胜杰 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于超声共振驱动的可变形反射镜，包括真空腔体和固定设置于真空腔体内的反射镜组件，所述反射镜组件包括能够在外力驱动下振动变形的可变形镜体，所述真空腔体上设有允许所述可变形镜体的入射光线和反射光线通过的透光窗口。本发明能够有效降低空气阻力对可变形镜体形变的影响，从而保证可变形反射镜的焦距控制精度，提高可变形反射镜的响应速度，并有效减少可变形镜体振射镜的低电压驱动。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 超声 共振 驱动 变形 反射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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