[发明专利]基于超声共振驱动的可变形反射镜

权利要求书

1.基于超声共振驱动的可变形反射镜，其特征在于，包括真空腔体和固定设置于真空腔体内的反射镜组件，所述反射镜组件包括能够在外力驱动下振动变形的可变形镜体，所述真空腔体上设有允许所述可变形镜体的入射光线和反射光线通过的透光窗口。

2.根据权利要求1所述的可变形反射镜，其特征在于，所述真空腔体内的气压压强不大于2mbar。

3.根据权利要求1所述的可变形反射镜，其特征在于，所述透光窗口包括蓝宝石窗口、金刚石窗口、光学镀膜窗口中的任意一种。

4.根据权利要求1～3任一项所述的可变形反射镜，其特征在于，所述反射镜组件还包括驱动件和支撑件，所述支撑件中部设置镂空部形成中空结构的支撑件，且所述镂空部贯穿所述支撑件的上端面和下端面；所述支撑件的上端面与所述可变形镜体远离其反射面的一侧固定连接，所述支撑件的下端面与所述驱动件固定连接，且所述支撑件的所述镂空部与所述支撑件外部的所述真空腔体内部空间连通；

其中，所述镂空部靠近上端面的横断面形状为中心轴对称的。

5.根据权利要求4所述的可变形反射镜，其特征在于，所述镂空部靠近上端面的横断面为正方形，且正方形的边长为0.5mm～1.5mm。

6.根据权利要求4所述的可变形反射镜，其特征性在于，所述驱动件为环形压电片，所述环形压电片的第一端面与所述支撑件的下端面固定连接，所述环形压电片的第二端面与所述真空腔体的内壁固定连接；所述环形压电片的内腔与所述支撑件的所述镂空部连通，且所述环形压电片的第二端面与所述真空腔体内壁间，设有连通所述环形压电片内腔与所述环形压电片外部的所述真空腔体内部空间的通气通道。

7.根据权利要求4所述的可变形反射镜，其特征在于，所述可变形镜体包括弹性变形层和反射层，所述弹性变形层与所述反射层固定连接，所述弹性变形层远离所述反射层的一侧与所述支撑件的上端面固定连接。

8.根据权利要求7所述的可变形反射镜，其特征在于，所述弹性变形层包括氮化硅薄膜、碳化硅薄膜、氮化硼薄膜、硼碳氮薄膜中的一种或多种。

9.根据权利要求7所述的可变形反射镜，其特征在于，所述反射层为金属反射层，所述金属反射层的材质为金、银、铜、铝中的任意一种；所述反射层的厚度为25～60nm。

10.根据权利要求7所述的可变形反射镜，其特征在于，

所述弹性变形层为氮化硅薄膜层，所述氮化硅薄膜层基于PECVD技术在所述支撑件的上端面沉积而成；

所述支撑件的材质为硅，所述支撑件的所述镂空部基于湿法刻蚀技术腐蚀而成；

所述反射层为金膜层，所述金膜层基于EBPVD技术在所述氮化硅薄膜远离所述支撑件的侧面上蒸镀而成。