[发明专利]晶体制备坩埚在审
| 申请号： | 202211217805.2 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115386951A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 张乃霁;彭友谊 | 申请（专利权）人： | 深圳腾睿微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 欧国聪 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道高*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及半导体设备，提供了一种晶体制备坩埚，所述埚体包括原料区及结晶区，所述原料区位于所述结晶区的下方，所述结晶区的侧壁设有测温组件和生长监控组件，所述埚体的侧壁设置有加热线圈，当在进行晶体生长时，所述测温组件用于检测所述结晶区晶体的温度，防止晶体在生长时发生相变，同时可监控坩埚的温场波动情况，以在异常情况发生时可以及时采取措施；所述生长监控组件用于采集所述结晶区晶体的生长数据，如遇多晶或生长厚度不均匀的情况可以及时调整生长配方，以避免资源浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体 制备 坩埚 | ||
【主权项】：
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