[发明专利]一种用于制备外延片的反应器、制备方法及应用在审
| 申请号： | 202211215675.9 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115506012A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 王国斌;李增林 | 申请（专利权）人： | 江苏第三代半导体研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B25/14;C30B25/16;C23C16/455;C23C16/46;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 陈小龙 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于制备外延片的反应器、制备方法及应用，所述壳体由上至下分为依次对接的喷淋段、过渡段和反应段，所述过渡段包括流线型的多曲面结构；所述喷淋段内设置有喷淋装置，所述反应段内设置有旋转装置和位于所述旋转装置下方的加热装置，所述加热装置分为呈同心圆分布的若干加热区域，至少部分所述加热区域的加热参数不同；所述旋转装置上放置有外延片，所述喷淋装置用于向所述外延片表面喷射反应气体；所述旋转装置的外周面与所述过渡段的内壁之间具有供反应气排出的流线型通道。本发明设置的加热装置，使旋转装置上方的温度分布更均匀，设置的流线型通道可以降低气流扰动，实现气体的快速疏排。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 外延 反应器 方法 应用 | ||
【主权项】：
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