[发明专利]一种用于制备外延片的反应器、制备方法及应用

权利要求书

1.一种用于制备外延片的反应器，所述反应器包括壳体，其特征在于，所述壳体由上至下分为依次对接的喷淋段、过渡段和反应段，所述过渡段包括流线型的多曲面结构，所述喷淋段和所述反应段之间通过所述过渡段形成平滑的曲面连接；

所述喷淋段内设置有喷淋装置，所述反应段内设置有旋转装置和位于所述旋转装置下方的加热装置，所述加热装置分为呈同心圆分布的若干加热区域，至少部分所述加热区域的加热参数不同；所述旋转装置上放置有外延片，所述喷淋装置用于向所述外延片表面喷射反应气体；

所述旋转装置的外周面与所述过渡段的内壁之间具有供反应气排出的流线型通道。

2.根据权利要求1所述的反应器，其特征在于，所述旋转装置的底面设置有筒形结构的驱动装置，所述驱动装置的一端敞口边缘与所述旋转装置的底面边缘对接，所述驱动装置用于带动所述旋转装置旋转；

优选地，所述加热装置位于所述驱动装置内部，所述驱动装置带动所述旋转装置旋转的同时，所述加热装置静止；

优选地，所述驱动装置内设置有密封件，所述密封件内由上至下依次设置有反射板和若干电极，所述密封件用于密封所述反射板和所述电极；

优选地，所述壳体外周设置有保温层。

3.根据权利要求1或2所述的反应器，其特征在于，所述加热装置包括由内至外依次设置的中心加热件、第一过渡加热件、第一主加热件、第二过渡加热件以及第二主加热件；

所述中心加热件为圆形结构且位于所述旋转装置的底面中心区域，所述第一过渡加热件、所述第一主加热件、所述第二过渡加热件以及所述第二主加热件均为环形结构且以所述中心加热件为中心由内至外呈同心圆结构分布。

4.根据权利要求1-3任一项所述的反应器，其特征在于，所述中心加热件的半径为R₁，所述第一过渡加热件、所述第一主加热件、所述第二过渡加热件以及所述第二主加热件的环宽依次为R₂、R₃、R₄和R₅；R₁、R₂、R₃、R₄和R₅之间的大小关系满足：

R₃≥R₁≥R₅＞R₄≥R₂；

优选地，R₁、R₂和R₃满足如下关系：

R₂＝(1/50～1/25)(R₁+R₃)；

优选地，R₃、R₄和R₅满足如下关系：

R₄＝(1/50～1/25)(R₃+R₅)；

优选地，所述壳体的内径为100～500mm，所述中心加热件的半径R₁为10～50mm；

所述第一过渡加热件的环宽R₂为3～8mm；

所述第一主加热件的环宽R₃为70～350mm；

所述第二过渡加热件的环宽R₄为5～10mm；

所述第二主加热件的环宽R₅为5～25mm。