[发明专利]一种磁码盘复合薄膜及制备方法在审
| 申请号： | 202211199550.1 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115491647A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 于广华;杨欣燕;徐秀兰 | 申请（专利权）人： | 广东麦格智芯精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种磁码盘复合薄膜及制备方法，属于磁性材料领域。所述磁码盘复合薄膜沉积在铝合金基底上，薄膜结构式为{(Nb/AlNiCo |
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| 搜索关键词： | 一种 磁码盘 复合 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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