[发明专利]全自动高速平行光曝光装置在审
| 申请号： | 202211186536.8 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN115421360A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 余燕青;杜志航;周朝平 | 申请（专利权）人： | 东莞市友辉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B25J11/00 |
| 代理公司： | 东莞市凯粤智华专利商标代理事务所(普通合伙) 44698 | 代理人： | 罗丽 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了全自动高速平行光曝光装置，包括上料机械手，所述上料机械手的顶部固定连接有来料拉带。本发明通过上料机械手、来料拉带、阵列工位、相机移动机构、曝光工位、曝光光源、出料机械手、出料拉带、翻转机构、反面上料机械手、反面阵列工位、反面曝光工位、反面曝光光源和出料工位的配合使用，能够大大提高HJT光伏电池铜基金属化曝光作业生产效率，且便于控制曝光光罩GAP，从而保证曝光精度，如果使用大面积曝光光罩，曝光光罩会因为重力变形，各个HJT电池基片位置的光罩GAP很难保证一致，且本装置曝光的方式可以是曝光工装定速移动通过曝光光源，也可以是曝光光源定速移动通过曝光工装，或者将曝光工装暂停在曝光光源下完成。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 高速 平行 曝光 装置 | ||
【主权项】：
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