[发明专利]全自动高速平行光曝光装置

说明书

本发明公开了全自动高速平行光曝光装置，包括上料机械手，所述上料机械手的顶部固定连接有来料拉带。本发明通过上料机械手、来料拉带、阵列工位、相机移动机构、曝光工位、曝光光源、出料机械手、出料拉带、翻转机构、反面上料机械手、反面阵列工位、反面曝光工位、反面曝光光源和出料工位的配合使用，能够大大提高HJT光伏电池铜基金属化曝光作业生产效率，且便于控制曝光光罩GAP，从而保证曝光精度，如果使用大面积曝光光罩，曝光光罩会因为重力变形，各个HJT电池基片位置的光罩GAP很难保证一致，且本装置曝光的方式可以是曝光工装定速移动通过曝光光源，也可以是曝光光源定速移动通过曝光工装，或者将曝光工装暂停在曝光光源下完成。

技术领域

本发明涉及光伏电池技术领域，具体为全自动高速平行光曝光装置。

背景技术

HJT光伏电池实现大规模量产的瓶颈之一，在于低温银浆的单耗问题，而铜电镀金属化技术路线应运而生。HJT光伏电池铜电镀工艺采用类似半导体工艺，制作铜的金属化电极，包括制作种子层、曝光显影、电镀、去膜/去种子层等多道工序，实现“以铜代银”的降本效果。数据显示，在理想状态下，相较于银浆丝网印刷技术路线，HJT铜电镀技术路线电池片的非硅成本可降低0.12元/W。同时，由于铜栅线使用纯铜，导电性强于银浆，叠加线宽、线距尺寸小，发电效率更高，这一技术还可进一步提升电池片效率。镀铜代替银浆在性能、转化效率上提高了一至二个百分点；

HJT光伏电池铜基金属化生产线要求曝光机的生产效率要在4000片/小时以上，而常规的曝光机生产能力为120~180片/小时，远远达不到光伏行业的生产效能要求。在技术要求方面，HJT光伏电池要求光阻膜厚在20微米左右，解析度达到20微米，显影图形宽深比小于等于1：1，重复定位偏差小于等于50微米，所以曝光前需要对HJT电池基片定位，定好位置后还需要将曝光光罩和产品的间隙控制在50±20微米以内，实现对HJT电池基片的非接触曝光作业。

发明内容

本发明的目的在于提供全自动高速平行光曝光装置，具备高效的优点，解决了上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：全自动高速平行光曝光装置，包括上料机械手，所述上料机械手的顶部固定连接有来料拉带，所述来料拉带来料拉带的右侧固定连接有阵列工位，所述阵列工位顶部的后端固定连接有相机移动机构，所述阵列工位的右侧固定连接有曝光工位，所述曝光工位的顶部固定连接有曝光光源，所述曝光工位的右侧固定连接有出料机械手，所述出料机械手的顶部设置有出料拉带，所述出料拉带的右侧设置有翻转机构，所述翻转机构的右侧设置有反面上料机械手，所述反面上料机械手的右侧设置有反面阵列工位，所述反面阵列工位的右侧设置有反面曝光工位，所述反面曝光工位的顶部设置有反面曝光光源，所述反面曝光工位的右侧固定连接有出料工位。

优选的，所述曝光工位和反面曝光工位的底部固定连接有底座，底座的底部滑动连接有底板。

优选的，所述曝光工位和反面曝光工位均包括UVW对位平台，所述UVW对位平台顶部的四角均固定连接有导柱，所述导柱的表面固定连接有升降机构，所述升降机构的顶部固定连接有加工平台，所述加工平台的正面和背面的两侧均固定连接有光罩间隙限位块。

优选的，所述导柱的顶部套设有光罩，且光罩的顶部固定连接有上铬板。

优选的，所述升降机构顶部的四角以及左右两侧均固定连接有PIN针，所述加工平台的底部四角及左右均开设有通过PIN针的通孔。

优选的，所述加工平台的内腔开设有插槽，且插槽与产品配合使用。

优选的，所述来料拉带和出料拉带均包括传送带和移动导轨，传送带的底部与移动导轨的顶部固定连接，且传送带底部的左侧固定连接有顶升机构。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：