[发明专利]激光干涉仪在审
| 申请号： | 202211167610.1 | 申请日： | 2022-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN115855229A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 北川润 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G01S7/481;G01S17/58 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供的激光干涉仪能够提高根据受光信号解调来自测定对象物的采样信号的精度。激光干涉仪具备：激光光源；第一光分割器，将激光分割为第一分割光及第二分割光；光调制器，将第一分割光调制为参照光；第二光分割器，将物体光及参照光分割为第三分割光及第四分割光，物体光是第二分割光被测定对象物反射而生成的光；第一受光元件，接收第三分割光；以及第二受光元件，接收第四分割光；从第一光分割器朝向光调制器的第一分割光的光轴与从光调制器朝向第一光分割器的参照光的光轴错开，从第二光分割器至第一受光元件的光路长度与从第二光分割器至第二受光元件的光路长度之差为20mm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
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