[发明专利]激光干涉仪

权利要求书

1.一种激光干涉仪，其特征在于，具备：

激光光源，射出激光；

第一光分割器，将所述激光分割为第一分割光及第二分割光；

光调制器，将所述第一分割光调制为频率不同的参照光；

第二光分割器，将物体光及所述参照光分割为第三分割光及第四分割光，所述物体光是所述第二分割光被测定对象物反射而生成的光；

第一受光元件，接收所述第三分割光；以及

第二受光元件，配置于与所述第一受光元件不同的位置处，并接收所述第四分割光；

从所述第一光分割器朝向所述光调制器的所述第一分割光的光轴与从所述光调制器朝向所述第一光分割器的所述参照光的光轴错开，

从所述第二光分割器至所述第一受光元件的光路长度与从所述第二光分割器至所述第二受光元件的光路长度之差为20mm以下。

2.根据权利要求1所述的激光干涉仪，其特征在于，

从所述第二光分割器至所述第一受光元件的光路长度与从所述第二光分割器至所述第二受光元件的光路长度之差为10mm以下。

3.根据权利要求2所述的激光干涉仪，其特征在于，

从所述第二光分割器至所述第一受光元件的光路长度与从所述第二光分割器至所述第二受光元件的光路长度之差为1mm以下。

4.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪，其特征在于，

所述激光干涉仪具备遮蔽元件，所述遮蔽元件配置于所述激光光源与所述第一光分割器之间，并具有供所述激光通过的开口。

5.根据权利要求4所述的激光干涉仪，其特征在于，

所述开口的直径为0.50mm以上且1.50mm以下。

6.根据权利要求4所述的激光干涉仪，其特征在于，

从所述第二光分割器至所述第一受光元件的光路长度与从所述第二光分割器至所述第二受光元件的光路长度之差为8mm以下。

7.根据权利要求4所述的激光干涉仪，其特征在于，

从所述光调制器至所述遮蔽元件的光路长度在从所述光调制器至所述第一受光元件的光路长度以下。

8.根据权利要求1所述的激光干涉仪，其特征在于，

所述激光光源是半导体激光器元件，

所述激光干涉仪具备准直透镜，所述准直透镜配置于所述激光光源与所述第一光分割器之间。

9.根据权利要求1所述的激光干涉仪，其特征在于，

所述激光干涉仪具备光路长度变更部，所述光路长度变更部配置于所述第二光分割器与所述第一受光元件之间，变更所述第二光分割器与所述第一受光元件之间的光路长度。

10.根据权利要求9所述的激光干涉仪，其特征在于，

所述光路长度变更部配置于所述第三分割光射入的位置，所述光路长度变更部具有折射率变化的折射率可变体。