[发明专利]一种硅基粉体及其制备方法在审
| 申请号： | 202211164598.9 | 申请日： | 2022-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN115448315A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 董仕轩;黄振 | 申请（专利权）人： | 江西汉可泛半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 | 代理人： | 潘金凤 |
| 地址： | 332020 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅基粉体及其制备方法，涉及硅粉的制备技术领域，该方法具体为：在热丝CVD的腔体中通入含有硅烷的反应气体，控制气压≥5Pa，热丝通电升温至1000‑2200℃，反应生成硅基粉；然后将硅基粉收集并进行热处理，制得。本发明易于实现尺度为纳米级别的硅基粉体；可实现掺磷或者掺硼的粉体的制备，或掺磷，或掺氮的粉体，或者前述几种元素的相互组合形成的粉体类别；且可精确控制生成物中各种原子的比例，本发明反应生成粉体的速度快，气源利用率高。综合性价比高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅基粉体 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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