[发明专利]晶体生长缺陷检测方法、装置、计算机设备和存储介质在审
| 申请号： | 202211163855.7 | 申请日： | 2022-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN116012282A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 傅林坚;刘华;汪崇智;曹晓明;胡建荣 | 申请（专利权）人： | 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/73;G06V10/82;G06V10/774;G06V10/75 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 黄文勇 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种晶体生长缺陷检测方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：从晶体生长炉的不同侧获取炉中晶体的生长图像；将不同侧的生长图像分别输入预先训练的位置识别模型和缺陷识别模型，得到晶体生长炉中每片晶体的缺陷检测结果，缺陷检测结果至少包括每片晶体的位置信息和缺陷信息；根据位置信息和缺陷信息，确定晶体生长炉中每片晶体当前的生长状态。采用本方法能够可以全面、准确地得到每片晶体的生长状态，有效避免检测遗漏或误检，保障了产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 缺陷 检测 方法 装置 计算机 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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