[发明专利]一种基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台在审
| 申请号： | 202211156845.0 | 申请日： | 2022-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN115476326A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 闫鹏;于海洋;孟令臣;刘国帅;杨兆宇 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | B25H1/18 | 分类号： | B25H1/18 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 陈晓敏 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台，包括底座，沿着底座的径向方向设置三个粘滑驱动模块，所述的粘滑驱动模块各设有一个主动运动模块，在每个主动运动模块上设置有一个倾斜设置的被动运动模块，三个被动运动模块的倾斜角度相同，在每个被动运动模块上设置一个球形铰链，三个球形铰链与同一个样品放置平台连接。本发明中的三个主动运动模块采用并联结构设计，具有刚度大，负载能力强，累计误差小的优点，有效的提高了精密定位平台的定位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 驱动 原理 自由度 精密 定位 平台 | ||
【主权项】：
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