[发明专利]一种基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台

权利要求书

1.一种基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台，其特征在于，包括底座，沿着底座的径向方向设置三个粘滑驱动模块，所述的粘滑驱动模块各设有一个主动运动模块，在每个主动运动模块上设置有一个倾斜设置的被动运动模块，三个被动运动模块的倾斜角度相同，在每个被动运动模块上设置一个球形铰链，三个球形铰链与同一个样品放置平台连接。

2.如权利要求1所述的基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台，其特征在于，所述的主动运动模块包括粘滑驱动模块和主动运动导轨，所述的粘滑驱动模块沿着底座的径向方向设置，在粘滑驱动模块上安装主动运动导轨，主动运动导轨的滑块可沿着底座的径向方向移动。

3.如权利要求2所述的基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台，其特征在于，所述的被动运动模块包括被动导轨安装斜块和被动运动导轨；其中，被动导轨安装斜块的底面为水平面，其水平面固定安装于主动运动导轨的滑块上，被动运动导轨固定安装于被动导轨安装斜块的斜面上，被动运动导轨的滑块在外力作用下可沿着被动导轨安装斜块的斜面做往复直线运动。

4.如权利要求3所述的基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台，其特征在于，在所述被动运动导轨的滑块上安装有球形铰链，球形铰链的一端与被动运动导轨的滑块连接，另一端与样品放置平台连接。

5.如权利要求3所述的基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台，其特征在于，被动导轨安装斜块的斜面呈锐角。

6.如权利要求1所述的基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台，其特征在于，三个主动运动模块沿着底座的周向方向，均匀设置。

7.如权利要求1所述的基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台，其特征在于，三个所述的粘滑驱动模块完全相同。

8.如权利要求1所述的基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台，其特征在于，三个所述的被动运动模块完全相同。

9.如权利要求1所述的基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台，其特征在于，三个所述的主动运动模块完全相同。