[发明专利]一种测量仪载物台运动轴平行度校正方法及系统在审
| 申请号： | 202211136277.8 | 申请日： | 2022-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN115479560A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 林丽红;何青;陈伟权;梁火炎;梁火炼;王建坤;陈俊威;高建彬 | 申请（专利权）人： | 厦门博视源机器视觉技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G06T7/66;G06T7/70 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 赵薇 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市软*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量仪载物台运动轴平行度校正方法及系统，该方法中包括：S1：上下移动载物台，使得测量标志物的下圆面处于相机的对焦状态，记录此时下圆面的圆心坐标；S2：保持测量标志物与载物台的相对位置不变，上下移动载物台，使得测量标志物的上圆面处于相机的对焦状态，获得此时上圆面的圆心坐标；S3：使测量标志物在载物台上绕轴线旋转角度后，重复步骤S1和S2，分别获取旋转后的下圆面的圆心坐标和上圆面的圆心坐标；S4：根据旋转前后下圆面集上圆面的圆心坐标和旋转角度，计算偏移量；S5：根据偏移量对相机拍摄的图像坐标进行平行度校正。本发明可以减少因载物台运动轴与相机光轴不平行所导致的计算误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量仪 载物台 运动 平行 校正 方法 系统 | ||
【主权项】：
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