[发明专利]一种测量仪载物台运动轴平行度校正方法及系统

权利要求书

1.一种测量仪载物台运动轴平行度校正方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：将测量标志物的上圆面朝上放置于载物台上后，上下移动载物台，使得测量标志物的下圆面处于相机的对焦状态，记录此时下圆面的圆心坐标(x00,y00)；

测量标志物由两个不同直径的圆柱体同轴拼接组成，设定直径较小的圆柱体的远离直径较大的圆柱体的圆面为上圆面；设定直径较大的圆柱体的与直径较小的圆柱体相邻的圆面为下圆面；

S2：保持测量标志物与载物台的相对位置不变，上下移动载物台，使得测量标志物的上圆面处于相机的对焦状态，获得此时上圆面的圆心坐标(x10,y10)；

S3：使测量标志物在载物台上绕轴线旋转角度θ后，重复步骤S1和S2，分别获取旋转后的下圆面的圆心坐标(x01,y01)和上圆面的圆心坐标(x11,y11)；

S4：根据旋转前后下圆面集上圆面的圆心坐标和旋转角度θ，计算偏移量：

Δx1＝x10-x00

Δy1＝y10-y00

Δx2＝x11-x01

Δy2＝y11-y00

Δx12＝Δx1-Δx2

Δy12＝Δy1-Δy2

其中，dx表示x轴方向的偏移量，dy表示y轴方向的偏移量，Δx1表示旋转前两种对焦状态下圆心坐标在x轴方向的差值，Δy1表示旋转前两种对焦状态下圆心坐标在y轴方向的差值，Δx2表示旋转后两种对焦状态下圆心坐标在x轴方向的差值，Δy2表示旋转后两种对焦状态下圆心坐标在y轴方向的差值，Δx12表示旋转前后坐标在x轴方向的差值，Δy12表示旋转前后坐标在y轴方向的差值；

S5：根据偏移量对相机拍摄的图像坐标进行平行度校正：

其中：(X₀,Y₀)表示校正前的图像坐标；(X,Y)表示校正后的图像坐标；h1表示上圆面处于对焦状态下时的载物台高度；h0表示下圆面处于对焦状态下时的载物台高度；H表示待测物品的两个平面的高度差。

2.根据权利要求1所述的测量仪载物台运动轴平行度校正方法，其特征在于：还包括：在测量标志物的外表面设定标识。

3.根据权利要求2所述的测量仪载物台运动轴平行度校正方法，其特征在于：标识为穿过圆心的直线标识。

4.根据权利要求3所述的测量仪载物台运动轴平行度校正方法，其特征在于：标识为穿过上圆面圆心的凹槽。

5.一种测量仪载物台运动轴平行度校正系统，其特征在于：包括测量仪、测量标志物和终端设备；其中测量仪包括载物台和相机，终端设备包括处理器、存储器以及存储在所述存储器中并在所述处理器上运行的计算机程序；所述系统用于实现如权利要求1～4中任一所述方法。