[发明专利]一种谐振器、制造方法及其应用有效
| 申请号： | 202211134785.2 | 申请日： | 2022-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN115225057B | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 王矿伟;杨清华;赖志国 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京希夷微知识产权代理事务所(普通合伙) 16079 | 代理人： | 王小东 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子领域。本发明公开了一种载体、制造方法及其应用，载体的制造方法包括在所述载体上刻蚀形成第一刻蚀部，所述第一刻蚀部的侧壁与所述第一刻蚀部的底面构成的夹角大于90度小于180度；刻蚀所述第一刻蚀部的下表面，形成第二刻蚀部，所述第二刻蚀部的侧壁与所述第二刻蚀部的底面构成的夹角小于所述第一刻蚀部的侧壁与所述第一刻蚀部的底面构成的夹角；所述第一刻蚀部的高度大于或等于平坦化工艺中设定的研磨量、平坦化工艺的平坦度的范围值以及平坦化后剩余的所述第一刻蚀部的高度值的总和，且所述平坦化后剩余的所述第一刻蚀部的高度值小于所述第二刻蚀部的高度值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振器 制造 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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