[发明专利]一种带双反射结构的横向激励薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 202211126725.6 | 申请日： | 2022-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN115459732A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;陈祥;刘炎;蔡耀;刘文娟;曲远航;魏民;丁嘉祺 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 杨震 |
| 地址： | 430072 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种带双反射结构的横向激励薄膜体声波谐振器。该横向激励薄膜体声波谐振器包括带空腔的衬底、位于所述衬底上的声布拉格反射栅、位于所述声布拉格反射栅上的压电层、位于所述压电层上的叉指电极结构；声布拉格反射栅和空腔构成谐振器的双反射结构；一方面声布拉格反射栅能够为压电材料提供良好的支撑，提高谐振器的机械稳定性；另一方面声布拉格反射栅和空腔能够将声波进行反射，减少声波能量损耗；另外，合理地选择声布拉格反射栅的组成材料可以改善器件的温度系数(TCF)；这种带双反射结构的横向激励薄膜体声波谐振器相比于传统横向激励薄膜体声波谐振器具有更强的机械稳定性、更优的温度系数(TCF)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 结构 横向 激励 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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