[发明专利]基于纤维素衍生物的激光直写光刻胶组合物及图案化方法有效
| 申请号： | 202211099107.7 | 申请日： | 2022-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN115185160B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 匡翠方;曹春;沈小明;关玲玲;邱毅伟;夏贤梦;李佳伟;赖慧颖 | 申请（专利权）人： | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人： | 戴莉 |
| 地址： | 311121 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于纤维素衍生物的激光直写光刻胶组合物及图案化方法，其特征在于，按质量百分比计，由4‑8wt%纤维素衍生物，4‑8wt%活性单体，0.1‑0.5wt%光敏剂及85‑90wt%溶剂构成。由纤维素衍生物作为飞秒激光直写光刻胶的固态成膜树脂，可以在光刻胶涂膜后将光刻胶固态化，并通过空气物镜的方式进行飞秒激光直写加工，而无需使用折射率匹配油，以方便进行大面积激光直写，并节省光刻胶的用量。同时，纤维素衍生物来源广泛，价格便宜，具有优异的生物可降解性，采用的活性单体和光敏剂也均具有生物相容性，最终光刻胶组合物几乎无毒，使用完毕后可快速的生物降解，不会对环境造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纤维素 衍生物 激光 光刻 组合 图案 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于之江实验室;浙江大学，未经之江实验室;浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211099107.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
