[发明专利]基于纤维素衍生物的激光直写光刻胶组合物及图案化方法

权利要求书

1.一种基于纤维素衍生物的激光直写光刻胶组合物，其特征在于：按质量百分比计，由4-8wt%纤维素衍生物A，4-8wt%活性单体B，0.1-0.5wt%光敏剂C及85-90wt%溶剂D构成；

所述的纤维素衍生物A为醋酸丁酸纤维素，所述醋酸丁酸纤维素的数均分子量为12000-70000；

所述的活性单体B为聚乙二醇二（甲基）丙烯酸酯，所述聚乙二醇二（甲基）丙烯酸酯的数均分子量为200-700；

所述的光敏剂C为樟脑醌；

所述的溶剂D为丙二醇甲醚乙酸酯或异丙醇或γ-丁内酯。

2.一种基于纤维素衍生物的激光直写光刻胶组合物的图案化方法，其特征在于，包含以下步骤：

S1：按比例取纤维素衍生物A充分溶解于溶剂D中；

S2：加入活性单体B和光敏剂C，在黄光或避光下搅拌12h，得到基于纤维素衍生物的激光直写光刻胶组合物；

S3：将步骤S2得到的光刻胶组合物在硅片上通过旋涂获得光刻胶湿膜；

S4：利用热台在80 ℃烘烤10 min将溶剂完全去除，得到光刻胶干膜；

S5：通过激光直写系统进行图案化加工，得到指定图案；

S6：在显影剂丙二醇甲醚乙酸酯中显影1min，吹干，在硅片上获得图案化光刻胶。