[发明专利]一种底电极激发式声表面波器件制备方法在审
| 申请号： | 202211053474.3 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115333498A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 于海洋;卞玉柱;袁燕;段英丽;时鹏程;冯志博;孟腾飞 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08;H03H3/10 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 牟森 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种底电极激发式声表面波器件制备方法，包括以下步骤：S1.对压电晶圆预处理，在所述压电晶圆上光刻定义电极引出用导通孔的位置；S2.在所述压电晶圆上制备所述导通孔，并在所述导通孔内进行种子层溅射后，在所述导通孔内进行电镀填充；S3.对所述压电晶圆表面进行抛光，并进行表面修平；S4.在所述压电晶圆上套刻图形，使其所述图形与所述导通孔重合，所述图形包括电极结构和叉指换能器结构；S5.在所述压电晶圆上表面沉淀绝缘层；S6.将所述压电晶圆与衬底晶圆进行表面预处理，增加其活性后采用常温晶圆直接键合的方式进行键合。本发明用于制备声表面波器件，减少声表面波器件受到外部环境的影响，提高声表面器件的高集成化需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 激发 表面波 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
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