[发明专利]一种中频炉熔炼多晶硅的装置及使用方法在审
| 申请号： | 202211032322.5 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115305569A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 刘立新;李琳伟 | 申请（专利权）人： | 长沙新立硅材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 杭州君锐知产专利代理事务所(普通合伙) 33443 | 代理人： | 应孔月 |
| 地址： | 410205 湖南省长沙市长沙高新开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种的中频炉熔炼多晶硅的装置及使用方法，属于多晶硅熔炼技术领域，包括叠合式石墨坩埚；水冷式线圈，用于给开炉烧结过程中的加热以及为所述叠合式石墨坩埚内的硅料加热；耐火材料，所述耐火材料布置在所述叠合式石墨坩埚和水冷式线圈之间，所述耐火材料中预制有预制深孔，所述预制深孔用于将耐火材料、硅溶胶中的水蒸汽排出，同时为之后熔炼过程中耐火材料受热膨胀提供缓冲。具有防膨胀的同时兼备除湿排气的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 中频 熔炼 多晶 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
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