[发明专利]一种中频炉熔炼多晶硅的装置及使用方法

权利要求书

1.一种中频炉熔炼多晶硅的装置，其特征在于，包括：

叠合式石墨坩埚；

水冷式线圈，用于给开炉烧结过程中的加热以及为所述叠合式石墨坩埚内的硅料加热；

耐火材料，所述耐火材料布置在所述叠合式石墨坩埚和水冷式线圈之间，所述耐火材料中预制有预制深孔，所述预制深孔用于将耐火材料、硅溶胶中的水蒸汽排出，同时为之后熔炼过程中耐火材料受热膨胀提供缓冲。

2.根据权利要求1所述的一种中频炉熔炼多晶硅的装置，其特征在于，所述叠合式石墨坩埚主要由多块掏心柱状石墨料和一块带底的掏心柱状石墨料从上至下依次叠合而成，叠缝处采用硅溶胶与石墨粉的拌合物填充。

3.根据权利要求2所述的一种中频炉熔炼多晶硅的装置，其特征在于，所述硅溶胶与石墨粉按任意比混合而成。

4.根据权利要求1所述的一种中频炉熔炼多晶硅的装置，其特征在于，所述叠合式石墨坩埚的顶层石墨坩埚上开有圆弧形缺口，用于连接炉嘴。

5.根据权利要求1所述的一种中频炉熔炼多晶硅的装置，其特征在于，所述叠合式石墨坩埚的顶部具有石墨坩埚盖子，上面开有搅拌孔，供搅拌杆伸入。

6.根据权利要求1所述的一种中频炉熔炼多晶硅的装置，其特征在于，所述预制深孔具有多个，均匀围绕所述叠合式石墨坩埚一周。

7.根据权利要求1所述的一种中频炉熔炼多晶硅的装置，其特征在于，所述预制深孔制作如下：将排气管设置于所述耐火材料中，打炉完成后被提出形成预制深孔。

8.根据权利要求7所述的一种中频炉熔炼多晶硅的装置，其特征在于，所述排气管采用耐高温的不锈钢或者涂有耐高温复合材料涂层。

9.根据权利要求1所述的一种中频炉熔炼多晶硅的装置，其特征在于，还包括：承载台，所述承载台位于所述叠合式石墨坩埚的底部。

10.根据权利要求1-9任一项所述的一种中频炉熔炼多晶硅的装置的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：向所述叠合式石墨坩埚中加硅料；

S2：通过水冷式线圈加热叠合式石墨坩埚，进行烧结，烧结过程中，耐火材料以及叠合式石墨坩埚缝隙处硅溶胶中的水汽通过耐火材料中的预制深孔排出，在后续的多晶硅熔炼的过程中，耐火材料受热膨胀，通过预制深孔提供缓冲。