[发明专利]一种坩埚受热均匀的高温蒸发炉有效
| 申请号: | 202211030011.5 | 申请日: | 2022-08-26 |
| 公开(公告)号: | CN115574600B | 公开(公告)日: | 2023-06-09 |
| 发明(设计)人: | 谢上川;沈鹏;蒋泽军;刘德昆 | 申请(专利权)人: | 杭州新川新材料有限公司 |
| 主分类号: | F27B14/16 | 分类号: | F27B14/16;F27D99/00;F27D13/00 |
| 代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 陈宇航 |
| 地址: | 311241 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明公开了高温蒸发炉技术领域的一种坩埚受热均匀的高温蒸发炉,包括下筒体、上盖、坩埚本体、坩埚盖及加料通道,所述上盖能够与下筒体对接,所述坩埚本体固定安装在下筒体内,所述坩埚盖固定安装在上盖内,所述坩埚盖能够与坩埚本体配合,所述加料通道开设在上盖内,所述加料通道内转动连接有第一密封板;所述第一密封板的转动轴上套装有用于其复位的第一扭簧;所述第一密封板与坩埚盖之间设置有第二密封板,所述第二密封板与上盖滑动连接,所述第二密封板上固定连接有第一弹簧,所述第一弹簧的顶端与上盖固定连接,所述第一密封板远离第二密封板的一侧设置有加料组件;本发明可以使坩埚保持稳定的温度进行加热。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 坩埚 受热 均匀 高温 蒸发 | ||
【主权项】:
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