[发明专利]一种坩埚受热均匀的高温蒸发炉有效

专利信息
申请号: 202211030011.5 申请日: 2022-08-26
公开(公告)号: CN115574600B 公开(公告)日: 2023-06-09
发明(设计)人: 谢上川;沈鹏;蒋泽军;刘德昆 申请(专利权)人: 杭州新川新材料有限公司
主分类号: F27B14/16 分类号: F27B14/16;F27D99/00;F27D13/00
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 陈宇航
地址: 311241 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了高温蒸发炉技术领域的一种坩埚受热均匀的高温蒸发炉,包括下筒体、上盖、坩埚本体、坩埚盖及加料通道,所述上盖能够与下筒体对接,所述坩埚本体固定安装在下筒体内,所述坩埚盖固定安装在上盖内,所述坩埚盖能够与坩埚本体配合,所述加料通道开设在上盖内,所述加料通道内转动连接有第一密封板;所述第一密封板的转动轴上套装有用于其复位的第一扭簧;所述第一密封板与坩埚盖之间设置有第二密封板,所述第二密封板与上盖滑动连接,所述第二密封板上固定连接有第一弹簧,所述第一弹簧的顶端与上盖固定连接,所述第一密封板远离第二密封板的一侧设置有加料组件;本发明可以使坩埚保持稳定的温度进行加热。
搜索关键词: 一种 坩埚 受热 均匀 高温 蒸发
【主权项】:
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