[发明专利]一种坩埚受热均匀的高温蒸发炉有效
| 申请号: | 202211030011.5 | 申请日: | 2022-08-26 |
| 公开(公告)号: | CN115574600B | 公开(公告)日: | 2023-06-09 |
| 发明(设计)人: | 谢上川;沈鹏;蒋泽军;刘德昆 | 申请(专利权)人: | 杭州新川新材料有限公司 |
| 主分类号: | F27B14/16 | 分类号: | F27B14/16;F27D99/00;F27D13/00 |
| 代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 陈宇航 |
| 地址: | 311241 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 坩埚 受热 均匀 高温 蒸发 | ||
1.一种坩埚受热均匀的高温蒸发炉,包括下筒体(1)、上盖(2)、坩埚本体(3)、坩埚盖(4)及加料通道(5),所述上盖(2)能够与下筒体(1)对接,所述坩埚本体(3)固定安装在下筒体(1)内,所述坩埚盖(4)固定安装在上盖(2)内,所述坩埚盖(4)能够与坩埚本体(3)配合,所述加料通道(5)开设在上盖(2)内,其特征在于:所述加料通道(5)内转动连接有第一密封板(6);所述第一密封板(6)的转动轴上套装有用于其复位的第一扭簧(7);所述第一密封板(6)与坩埚盖(4)之间设置有第二密封板(8),所述第二密封板(8)与上盖(2)滑动连接,所述第二密封板(8)上固定连接有第一弹簧(9),所述第一弹簧(9)的顶端与上盖(2)固定连接,所述第一密封板(6)远离第二密封板(8)的一侧设置有加料组件,所述上盖(2)上还设置有第一驱动组件,所述第一驱动组件在加料组件输送物料时驱动第一密封板(6)和第二密封板(8)先后打开;
所述加料组件包括两个皮带辊(10),两个所述皮带辊(10)均设置在加料通道(5)内且与上盖(2)转动连接,两个所述皮带辊(10)共同传动连接有输送皮带(11),所述输送皮带(11)上固定连接有若干固定块(12),若干所述固定块(12)沿着输送皮带(11)的外表面呈等距分布,所述固定块(12)上连接有挡板(13),输送皮带(11)远离第一密封板(6)的一侧设置有导料板(14),所述导料板(14)与上盖(2)转动连接;靠近第一密封板(6)的所述皮带辊(10)外侧设置有驱动机构,所述驱动机构用于驱动皮带辊(10)转动。
2.根据权利要求1所述的一种坩埚受热均匀的高温蒸发炉,其特征在于:所述驱动机构包括电机(15),所述电机(15)的输出轴与靠近第一密封板(6)的皮带辊(10)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种坩埚受热均匀的高温蒸发炉,其特征在于:所述第一驱动组件包括第一齿轮(16),所述第一齿轮(16)固定连接在远离第一密封板(6)的皮带辊(10)的转动轴上;所述第一齿轮(16)啮合有第二齿轮(17),所述第二齿轮(17)的直径大于第一齿轮(16)的直径,所述第二齿轮(17)与上盖(2)转动连接,所述第二齿轮(17)的转动轴上固定连接有不完全齿轮(18),所述不完全齿轮(18)啮合有第一齿条杆(19)和第二齿条杆(20);所述第一齿条杆(19)固定连接有用于其复位第二弹簧(21);所述第二齿条杆(20)固定连接有用于其复位的第三弹簧(22);所述第一齿条杆(19)上固定连接有第一牵引绳(23),所述第一牵引绳(23)的一端穿过上盖(2)内部并与第二密封板(8)固定连接;所述第二齿条杆(20)上固定连接有第二牵引绳(24),所述第二牵引绳(24)的一端穿过上盖(2)内部并与第一密封板(6)的顶端固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种坩埚受热均匀的高温蒸发炉,其特征在于:所述导料板(14)为L形形状,所述导料板(14)的竖直边与加料通道(5)等高;所述导料板(14)的转动轴上套装有用于其复位的第二扭簧(25);所述导料板(14)的顶端转动连接有滑板(26),所述滑板(26)的底端转动连接有滑柱(27),所述滑柱(27)与上盖(2)滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种坩埚受热均匀的高温蒸发炉,其特征在于:所述挡板(13)与固定块(12)转动连接;所述挡板(13)的转动轴上套装有用于其复位的第三扭簧(31);所述输送皮带(11)的下方设置密封块(30),所述密封块(30)上滑动连接有楔形块(28),所述楔形块(28)与密封块(30)滑动连接,所述楔形块(28)上固定连接有用于其复位的第四弹簧(29)。
6.根据权利要求1所述的一种坩埚受热均匀的高温蒸发炉,其特征在于:所述第一密封板(6)采用保温且耐高温材料制成,所述第二密封板(8)采用耐高温材料制成。
7.根据权利要求1所述的一种坩埚受热均匀的高温蒸发炉,其特征在于:所述输送皮带(11)采用耐高温材料制成。
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