[发明专利]一种半导体多层膜体系膜-膜间界面光吸收率的测试方法在审
| 申请号： | 202211011973.6 | 申请日： | 2022-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN115406848A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 张建国;王广飞;孟祥翔;谢赛博;杨冬雅 | 申请（专利权）人： | 徕泰信光（深圳）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31;G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 孟洁 |
| 地址： | 518117 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体多层膜技术领域。本发明提供了一种半导体多层膜体系膜‑膜间界面光吸收率的测试方法，通过构建参考膜、对比膜，参考膜和对比膜中所用基底、整体的厚度均完全相同，唯一不同的是参考膜和对比膜中高折射率薄膜、低折射率薄膜之间的界面层数不同，两者在中心波长处具有相同的光学特性，因此构建的参考膜和对比膜可以用于研究薄膜与薄膜界面之间的光吸收；通过本发明的方法可以测试多层膜体系的膜‑膜间界面光吸收，进而对薄膜‑薄膜间的界面吸收损耗进行评估；本发明的测试方法适用于不同折射率大小的薄膜之间的界面光吸收，也适用于不同厚度下的薄膜之间的界面光吸收，具有良好的通用性和拓展性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 多层 体系 界面 吸收率 测试 方法 | ||
【主权项】：
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