[发明专利]等离子体处理装置在审
| 申请号： | 202211008852.6 | 申请日： | 2022-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN115332031A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 何政;唐怡 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 吴莎;刘芳 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供一种等离子体处理装置，等离子体处理装置包括处理室、等离子体源、承载座、偏压电源和线圈组件，承载座与偏压电源电性连接，承载座位于处理室中，至少部分等离子体源位于处理室外；承载座的承载面用于承载待处理件；等离子体源用于产生等离子体，等离子体位于处理室中，且与承载座相对设置；线圈组件用于产生磁场，承载面位于磁场中，磁场作用于等离子体中的离子，以使离子受到垂直于磁场方向的洛伦兹力。离子受到洛伦磁力的作用，从而可以改变离子的运动方向，使得离子可以从待处理件的侧部掺杂。因此，本公开提供的等离子体处理装置，该等离子体处理装置能够增强对待处理件的侧向离子掺杂效果。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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