[发明专利]管道模块和包括所述管道模块的老化室设备在审
申请号: | 202211007785.6 | 申请日: | 2022-08-22 |
公开(公告)号: | CN115876676A | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 卢种基 | 申请(专利权)人: | 泰克元有限公司 |
主分类号: | G01N17/00 | 分类号: | G01N17/00;F16L55/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种管道模块,包括:管道,被配置成提供从腔室框架外部吸入的流体流过的通道;排放单元,被配置成引导所述流体的流动,使得吸入所述管道中的所述流体朝向排列在所述腔室框架中的电子元件排放,所述排放单元相对于所述管道在上下方向上可移动地被支撑。 | ||
搜索关键词: | 管道 模块 包括 老化 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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