[发明专利]管道模块和包括所述管道模块的老化室设备

说明书

一种管道模块，包括：管道，被配置成提供从腔室框架外部吸入的流体流过的通道；排放单元，被配置成引导所述流体的流动，使得吸入所述管道中的所述流体朝向排列在所述腔室框架中的电子元件排放，所述排放单元相对于所述管道在上下方向上可移动地被支撑。

技术领域

本公开涉及一种管道模块和包括所述管道模块的老化室设备。

背景技术

老化室设备是一种支持对通过制造工程制造的半导体器件等电子元件进行测试并根据测试结果对电子元件进行分类的设备。老化室设备可以通过将电子元件电连接到测试仪来测试诸如半导体器件的电子元件。

同时，可以对通过检查设备进行电气检查并被确定为良品的电子元件执行用于可靠性验证的老化测试。在老化测试过程中，通过对电子元件施加热应力和电应力以检测其中的缺陷。将电子元件装载到老化板上进行老化测试过程，且所述测试过程是在电子元件被安置于老化板上的状态下进行的。此外，在完成测试过程后，将电子元件从老化板上卸载并根据测试结果进行分类。

老化室设备可以通过老化测试将具有相同温度的高温空气施加到电子元件上来检测电子元件中的缺陷。

在传统的老化室设备中，用于将高温空气施加到电子元件的送风机被设置在腔室框架内。换句话说，送风机与老化板一同放置在一个封闭空间中。随着老化测试的进行，送风机的温度逐渐升高，并且具有比需要施加到电子元件的空气温度更高温度的空气被施加到电子元件。因此，当施加到电子元件的温度高于正常测试所需的温度时，难以将电子元件放置在目标测试环境中。

当在未提供目标测试条件的状态下进行老化测试时，难以获得准确的电子元件老化测试结果值。

发明内容

鉴于上述情况，本公开提供了一种老化室设备，其中用于施加高温空气的送风机被设置在与设置老化板的空间不同的空间中。

此外，本公开提供一种能够防止高于正常测试所需温度的温度施加到电子元件的老化室设备。

根据本公开的第一方面，本公开提供了一种管道模块，包括：管道，被配置成提供从腔室框架外部吸入的流体流过的通道；排放单元，被配置成引导所述流体的流动，使得吸入所述管道中的所述流体朝向排列在所述腔室框架中的电子元件排放，所述排放单元相对于所述管道在上下方向上可移动地被支撑。

所述管道可以包括：多个吸入单元，从所述腔室框架外部吸入的所述流体通过多个所述吸入单元被引入；以及合流单元，与多个所述吸入单元连通，使得通过多个所述吸入单元引入的所述流体流入所述合流单元，其中，所述排放单元包括多个排放部，并且流经所述合流单元的所述流体流入多个所述排放部。

所述管道还可以包括：多个风扇外壳单元，被配置成对应于多个所述吸入单元，并且，每个所述风扇外壳单元可以与对应的所述吸入单元和所述合流单元连通，并允许通过对应的所述吸入单元吸入的所述流体流入所述合流单元。

所述排放单元可以包括多个排放部，每个所述排放部提供一排放口，用于将吸入所述管道中的所述流体朝向排列在所述腔框架中的所述电子元件排放，每个所述排放部可以包括：第一排放板，被配置成可相对于所述管道在上下方向上移动，以及第二排放板，被配置成可相对于所述第一排放板和所述管道移动以远离或靠近所述第一排放板，所述排放口可以由所述第一排放板的一端和所述第二排放板的一端提供。

所述第一排放板可以延伸使得所述第一排放板和所述第二排放板之间的距离在所述上下方向上从所述第一排放板的一端到另一端逐渐增加，并且，所述第二排放板可以平行于地面延伸。

所述排放单元还可以包括：支撑部，支撑所述排放部并被配置成可在所述上下方向上移动。所述支撑部可以包括：第一支撑板，从所述第一排放板的另一端在所述上下方向上延伸以支撑所述第一排放板，以及第二支撑板，从所述第二排放板的另一端在所述上下方向上延伸以支撑所述第二排放板，并被配置成可独立于所述第一支撑板移动。