[发明专利]一种MOCVD设备生长结果异常溯源方法及系统在审
| 申请号： | 202210968280.X | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN115293067A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 王钢;王杰;裴艳丽;罗铁成;何宜聪 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G06F30/28 | 分类号： | G06F30/28;C30B25/16;G06N3/04 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 范伟民 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种MOCVD设备生长结果异常溯源方法及系统，该方法包括：对MOCVD反应腔进行CFD建模，生成CFD模型；确定工艺参数取值范围并利用CFD模型进行模拟仿真实验，得到模拟仿真工艺参数和模拟仿真结果；根据模拟仿真工艺参数和模拟仿真结果进行建模，生成神经网络模型；基于神经网络模型将异常生长结果与工艺参数进行匹配，得到异常工艺参数。该系统包括：CFD构建模块、模拟仿真模块、神经网络构建模块和匹配模块。通过使用本发明，能够快速精准地找出异常工艺参数且提高效率。本发明作为一种MOCVD设备生长结果异常溯源方法及系统，可广泛应用于MOCVD异常检测领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mocvd 设备 生长 结果 异常 溯源 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山大学，未经中山大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210968280.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
